气体团簇技术开发测试平台

采购需求概况

采购用于系统化研发气体团簇抛光、刻蚀、注入技术的一体化平台。要求包含超声喷注气体团簇源、气体团簇离化装置、团簇离子束整形装置、团簇质量筛选装置、团簇离子束探测装置、样品处理装置等，气体团簇离子束流强≥100μA，离子束传输率≥80%。

同采购单位近期项目