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光电探测器实验3台、光学传感三维面型测量2台、激光位移测量2台、薄膜厚度测量2台、光电图像传感器及应用综合实验3台、信息光学综合实验系统2台、自组棱镜光谱仪及光谱测量实验1台、一体化半导体测试平台2套。