激光镀膜系统

采购需求概况

1、高能脉冲磁控溅射镀膜机：作为先进薄膜制备系统，能通过瞬时高功率脉冲（kW/cm2量级）显著提升薄膜性能并拓展新型功能材料的可控制备能力。 2、电子束真空镀膜机：开展高功率激光薄膜工艺研究，用于光学镜片镀制多层介质薄膜。 3、真空紫外热蒸发镀膜机：在每个光学元件表面制备光学薄膜，提高薄膜质量和原件的能量利用率，提高硅片面的光强均匀性以及最终产品的良率。

同采购单位近期项目