场发射扫描电子显微镜

采购需求概况

1)电子枪：肖特基场发射电子枪； 2)★分辨率：≤0.8 nm@15 kV，1.5 nm @1 kV； 3)加速电压范围：20 V～30 kV ；4)样品台行程：X≥110 mm，Y≥110 mm，Z≥50 mm，T：-10°~ +70°，R：360°连续可调； 5)最大样品尺寸：直径≥260 mm，高≥53 mm； 6)旁侧二次电子探测器,支持SE和BSE两种成像模式；7)镜筒内电子探测器，支持SE和TOP-BSE两种成像模式； 8)电动插入式背散射电子探测器，具备软件防碰撞功能； 9) 4寸样品交换仓，进样窗口透明，支持最大尺寸直径108mm，高40mm； 10）配备能谱仪，有效晶体面积≥30mm2，分辨率≤129eV@100000cps； 11）配备喷金仪、冷水机、空压机、不间断电源等必要的配件。

同采购单位近期项目