干涉式三维光学轮廓仪

采购需求概况

纵向扫描范围：150μm，垂直分辨率< 0.01 nm，台阶高度重复性：0.1%，台阶高度准确性＜0.75%。要求具备亚纳米级垂直分辨率和微米级横向分辨率，支持台阶高度、表面粗糙度、三维形貌等参数的全自动测量。

同采购单位近期项目