球杆跟踪干涉仪

采购需求概况

1.空间位置测量不确定度（95%）≤1.0μm； 2.分辨率≤0.001μm； 3.测量范围≥270-1050mm； 4.水平角度范围：无限制； 5.垂直角度范围≥-45-75°； 6.垂直角度范围≥-45-75°。

同采购单位近期项目