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离子泵,用于LTD及LTU1线超高真空获得。数量:45。功能目标:泵口极限压强≤2e-8Pa,抽速50L/s、100L/s,漏率<1e-12Pa.m3/s。交货期:4个月;质保期:1年。
上海科技大学 · 2026-06-30