微纳加工系统

采购需求概况

1、紫外纳米压印机：用于高精度微纳元件的制造。 2、磁流变抛光机：通过高速离子束撞击光学元件表面，实现元件表面的分子、原子级材料去除，实现面形超高精度修抛，能够实现对球面、平面、非球面、自由曲面等光学表面RMS1/100λ(λ=632.8nm)以上精度的面形修抛，包含硬件及工艺软件；质保期不少于一年并提供后续的培训及软件更新。 3、机械臂抛光设备：通过机械臂带动抛光头按照规划路径进行化学物理抛光，实现平面、球面、非球面、自由曲面等光学面形的粗抛光及精抛光，达到面形精度RMS 1/80λ(λ=632.8nm), 表面粗糙度优于Ra1nm，包含硬件及工艺软件；质保期不少于一年并提供后续的培训及软件更新。 4、光学定心车床：对光学元件进行高精度光学定心后，通过车削元件外框，实现外框的外圆与光学元件光轴的高度同心，同心度要求达到5um，包含硬件及工艺软件；质保期不少于一年并提供后续的培训及软件更新。

同采购单位近期项目