集成电路微纳加工中心气体输送与尾气处理系统建设项目

采购需求概况

为满足我校集成电路相关专业微纳制造实验教学与科研工作的实际需要，保障多种工艺气体在实验过程中的安全使用及尾气环保合规排放，拟建设一套完整的气体输送与尾气处理系统。本项目主要用于支撑薄膜沉积、等离子刻蚀、退火处理等实验教学与科研活动，系统需覆盖惰性气体、助燃气体及多种特种工艺气体的安全存储、稳定输送与尾气处理等关键环节。 本次采购内容包括但不限于：硅烷、氨气、一氧化二氮等特种气体安全气柜及气瓶架，氮气、氩气、氦气、氧气等惰性及助燃气体气瓶面板，以及四氟化碳、六氟化硫、氪氟混合气、八氟环丁烷、三氟甲烷等含氟及混合工艺气体的供气与输运系统。同时配套建设尾气燃烧、干式吸附处理装置，尾气输送与排风系统，以及气体泄漏侦测与分级报警系统。 系统应具备完善的安全联锁、泄漏监测、紧急切断、集中控制及尾气净化功能，实现多种气体的集中管理与安全运行，确保特种气体在存储、输送、使用及排放全过程中的安全性和可靠性。项目建成后，尾气排放应符合国家及地方环境保护与安全管理相关规范要求，为我校集成电路专业实验教学、科研创新及学生安全培训提供稳定、合规的基础条件支撑。