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南京邮电大学集成电路科学与工程学院深硅离子刻蚀采购

公开采购信息 · 数据以官方原文为准

采购单位
南京邮电大学2025年9月
地区
江苏
预算
270.00 万元
发布时间
2025-09-16
计划采购
2025-10
来源平台
www.ccgp-jiangsu.gov.cn
查看官方原文

采购需求概况

名称：深硅离子刻蚀 功能：以高的刻蚀速率、优秀刻蚀均匀性以及直、斜孔刻蚀形貌的控制能力在硅片（或其他材料）上刻蚀出高深宽比、侧壁陡直的微观结构，台数：1

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