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采购用于将团簇离子束减速传输的原子团簇束流减速传输装置。要求将经过磁电双聚焦装置加速100kev的原子团簇离子束能量减速至100ev以下,同时兼容高通量模式和低发散角两种模式,高通量模式下束流通过率>50%,低发散角模式下束流发散角<0.5mrad@1ev绝对能散
南京原子制造研究所2025年8月 · 2025-08-19