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建立脑机接口芯片微纳电极多尺度制备体系,面向高密度神经电极在亚微米图案成形、纳米功能涂层沉积和三维立体电极构筑等关键制造环节的技术需求,提供从平面电极精密加工到立体功能结构一体化制备的系统性解决方案。包含三维光波导直写系统、超高分辨纳米材料沉积系统、高精细气流聚焦3D喷印系统等设备。
江苏脑机接口研究院 · 2026-05-26