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光刻机物镜小磨头抛光装备

公开采购信息 · 数据以官方原文为准

采购单位
上海大学
地区
上海 · 上海本级
预算
110.00 万元
发布时间
2026-07-15
计划采购
2026-08
来源平台
www.zfcg.sh.gov.cn
查看官方原文

采购需求概况

光刻机物镜小磨头抛光装备，1套。该设备用于光学元件、半导体材料及精密模具的微纳尺度局部抛光修形与缺陷去除。最小加工区域不大于1 mm²，面形修正精度优于λ/50，表面粗糙度Ra≤1 nm。主轴转速不低于5000 rpm，重复定位精度不大于1 μm。支持多源数据实时采集，并与磁流变抛光、离子束修形及检测系统兼容，实现超精密加工工艺验证。质保1年，合同签订后1个月交付。

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