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南京邮电大学集成电路科学与工程学院(产教融合学院)激光解键合机采购项目

公开采购信息 · 数据以官方原文为准

采购单位
南京邮电大学
地区
江苏
预算
1,250.00 万元
发布时间
2026-03-31
计划采购
2026-06
来源平台
www.ccgp-jiangsu.gov.cn
查看官方原文

采购需求概况

激光解键合设备兼容主流规格晶圆及超薄、特殊半导体器件,采用紫外激光实现无应力解键合,具备高精度稳定控制、解键合-清洗一体化、全自动智能化操作能力。适用于2.5D/3D等先进封装工艺领域。

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