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反应离子刻蚀机

公开采购信息 · 数据以官方原文为准

采购单位
上海科技大学
地区
上海 · 上海本级
预算
121.00 万元
发布时间
2026-05-26
计划采购
2026-06
来源平台
www.zfcg.sh.gov.cn
查看官方原文

采购需求概况

拟采购反应离子刻蚀机，1套，用于二维材料器件的微纳加工，实现样品的高精度刻蚀。设备需具备稳定的等离子体产生能力、精确的气体流量与功率控制能力，以及良好的刻蚀均匀性和重复性，可满足科研中对微纳器件加工、异质结构制备、表面处理及工艺开发等需求。需提供不低于一年的质保期限，提供系统运输安装调试服务并达到验收标准，交付期限不长于4个月。

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