光刻机物镜小磨头抛光装备
上海大学 · 2026-07-15
(1)测试温区要求室温到1750℃;(2)可在1750℃条件下通入水蒸气进行实验;(3)上置悬挂式重量跟踪检测器,用于模拟复杂环境下,材料性能测试;(4)高温氧化时长:设备可在1600℃恒温70小时以上;(5)可测试气氛:100%H2,H2S,SO2,CO,NH3,水蒸气,空气,O2,惰性气氛等。
上海大学 · 2026-07-15
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