南京邮电大学集成电路科学与工程学院（产教融合学院）聚焦离子束扫描电镜采购项目

采购需求概况

聚焦离子束扫描电镜（FIB-SEM）通过离子束精准刻蚀、电子束高分辨成像及多技术联用分析（EDS/EBSD），实现半导体封装内部微纳结构的定点截面制备、缺陷定位与成分表征，可精准检测硅通孔（TSV）空洞、微凸点（Micro-bump）界面失效、混合键合空隙等纳米级问题，有效支撑封装工艺验证与失效分析，适用于 2.5D/3D 先进封装、芯粒集成、倒装芯片等产品的结构完整性检测与可靠性管控。

同采购单位近期项目