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多尺寸衬底背面对准与图案化设备

公开采购信息 · 数据以官方原文为准

采购单位
上海大学
地区
上海 · 上海本级
预算
395.62 万元
发布时间
2026-06-16
计划采购
2026-07
来源平台
www.zfcg.sh.gov.cn
查看官方原文

采购需求概况

多尺寸衬底背面对准与图案化设备1套。实现在不同尺寸、形状、材料衬底的背面精确地创建图案，并实现正面和背面图案的高精度对准，需满足正面对准精度不低于1微米，背面对准精度不低于1.5微米，图案分辨率优于1微米等技术指标。交货期，合同签订后6-8月，质保期2年。

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