光刻机物镜小磨头抛光装备
上海大学 · 2026-07-15
1.子系统一雪崩光电二极管(APD)增益测试系统:(1)光学激励模块:光源400-2700nm(单波长激光入射);(2)电学偏置与采集模块:电流测试:源表电压范围:0-100V,电流测试精度:0.1nA;电容测试电压范围:0 ~ 40V;(3)光耦合模块方式:垂直正入射、背入射; 2.子系统二高速波导探测器水平光耦合测试系统:(1)水平光耦合模块平台:六轴电动位移台、波导芯片夹具(真空吸附/机械夹紧)、单模/保偏光纤夹持器、CCD视觉监控系统,支持光子芯片与光纤的精准耦合对准;(2)电学偏置与采集模块:电流测试:源表电压范围:0-100V,电流测试精度:0.1nA;电容测试电压范围:0 ~ 40V;(3)配套模块:自动耦合与测试系统,具备搜光算法等参数自动测试功能。
上海大学 · 2026-07-15
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